M-361CP是一種結(jié)合了測(cè)量大氣壓至中真空的pirani計(jì)和測(cè)量高真空至超高真空的冷陰極計(jì)的組合儀。
寬范圍測(cè)量?jī)H用一個(gè)儀表實(shí)現(xiàn)。
特征
測(cè)量穩(wěn)定性，減少了pirani和冷陰極的開(kāi)關(guān)故障，測(cè)量因放電和壓力指示值波動(dòng)而停止。
大氣壓檢測(cè)，通過(guò)皮拉尼計(jì)良好測(cè)量大氣壓區(qū)。
響應(yīng)性等于振膜表。
簡(jiǎn)單維護(hù)
廣泛適用于從大氣壓到超高真空的真空測(cè)量
電子學(xué)與光學(xué)：真空蒸發(fā)、鍍膜、電子束掩模寫入、濺射、離子注入、分子束外延（MBE）
分析：使用任何真空工藝的掃描電子顯微鏡（SEM）、二次離子質(zhì)譜（SIMS）、俄歇電子能譜（AES）、X射線光電子能譜（XPS）和其他分析方法
工業(yè)：退火、溶解、焊接、回流焊、固化、電子束焊接、冶金、分子蒸餾、氣體填充
高能物理：加速器，回旋加速器
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